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2009年，Miyaska課題組將鈣鈦礦材料MAPbI3用作燃料敏化太陽能電池的光伏活性層，正式開啟了鈣鈦礦太陽能電池的新紀元。ALD憑借其均勻成膜性、精準控制厚度和保形性等多種優勢，在光伏領域中發揮著重要作用。除此之外，ALD技術還可用于鋰電池薄膜涂層，提高電池性能。